行星减速机内部结构图有多个围绕太阳轮旋转的齿轮被称为“行星轮”，其一侧与太阳轮咬合，另一侧与减速机壳体内壁上的环形内齿圈咬合，承载着由输入轴通过太阳轮传递过来的转矩动力，并通过输出轴将动力传输到负载端。正常工作时，行星轮围绕太阳轮“公转”的运行轨道就是减速机壳体内壁上的环形内齿圈。
当太阳轮在伺服电机的驱动下旋转时，与行星轮的咬合作用促使行星轮产生自转；同时，由于行星轮又有另外一侧与减速机壳体内壁上的环形内齿圈的咬合，最终在自转驱动力的作用下，行星轮将沿着与太阳轮旋转相同的方向在环形内齿圈上滚动，形成围绕太阳轮旋转的“公转”运动。通常，每台行星减速机都会有多个行星轮，它们会在输入轴和太阳轮旋转驱动力的作用下，同时围绕中心太阳轮旋转，共同承担和传递减速机的输出动力。
不难看出，行星减速机的电机侧输入转速（即：太阳轮的转速），要比其负载侧输出转速（即行星轮围绕太阳轮公转的速度）要高，这也是为什么它会被称作“减速机”的原因。
电机驱动侧与应用输出侧之间的转速比值，称为行星减速机的减速比，简称“ 速比”，通常在产品规格中用字母 “ i ” 表示，它是由环形内齿圈与太阳轮的尺寸（周长或齿数）之比决定的。一般情况下，具有单级减速齿轮组的行星减速机速比通常在 3 ~ 10 之间；速比超过 10 以上的行星减速机，需要使用两级(或以上）的行星齿轮组减速。
和所有运控传动机构一样，在运控设备中使用行星减速机时，也需要考虑到其传动效率、刚性和精度。而由于在运转时的咬合齿数较多，齿轮啮合的总体接触面积也比较大，因此，相比普通的固定齿轮减速机，行星减速机的动力传输效率更高，具备更强的转矩动力输出能力，同时其传动刚性也更硬。通常伺服行星减速机的传动效率可以达到 97% 以上，背隙一般低于3arcmin，刚性可达3Nm/arcmin甚至更高。
